在半導(dǎo)體材料的市場占比中，電子特氣占14%，成為僅次于硅片的第二大半導(dǎo)體材料市場。業(yè)內(nèi)指出，電子特氣的需求在2023年年內(nèi)或?qū)⒃诩呻娐?、面板、光伏三大支柱產(chǎn)業(yè)的支持下完成逆轉(zhuǎn)提升。

電子特種氣體被稱作工業(yè)氣體“王冠上的明珠”，同時(shí)，作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵材料，也被譽(yù)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“血液”，會(huì)直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能，被廣泛應(yīng)用于清洗、光刻、刻蝕、摻雜、外延沉積等工藝中。在集成電路晶圓制造過程中，電子特氣的使用占比接近14%，系僅次于硅片的第二大耗材。電子氣體應(yīng)用廣泛，對技術(shù)要求很高，對于氣源及其供應(yīng)系統(tǒng)有著苛刻的要求，且由于技術(shù)難度大、認(rèn)證周期長以及初期投入多，導(dǎo)致國內(nèi)電子特氣產(chǎn)業(yè)還處于追趕階段，但隨著政策資金的支持，國產(chǎn)電子特氣企業(yè)市占率逐步提升。民生證券指出，隨著國產(chǎn)氣體企業(yè)品類擴(kuò)充加速，我國電子特氣行業(yè)有望迎來全面“開花”。

據(jù)財(cái)聯(lián)社主題庫顯示，相關(guān)上市公司中：

華特氣體經(jīng)過長期的產(chǎn)品研發(fā)和認(rèn)證，成功實(shí)現(xiàn)了對國內(nèi)8寸、12寸集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。公司自主研發(fā)生產(chǎn)的4款光刻氣體是中國唯一一家同時(shí)獲得荷蘭ASML和日本GIGAPHOTON認(rèn)證的氣體公司。

中船特氣是國內(nèi)電子特種氣體行業(yè)的先驅(qū)者，從事電子特種氣體的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化已有二十余年的歷史。