2024年03月06日 14:45:41
微導(dǎo)納米:首臺百兆瓦鈣鈦礦ALD設(shè)備順利出貨
《科創(chuàng)板日報》6日訊,微導(dǎo)納米日前宣布,近日公司自主研發(fā)的首臺大面積百兆瓦鈣鈦礦電池生產(chǎn)專用量產(chǎn)型原子層沉積(ALD)設(shè)備發(fā)貨至行業(yè)頭部客戶,實現(xiàn)在大面積玻璃基底鈣鈦礦的技術(shù)應(yīng)用,標志著該類型鈣鈦礦電池技術(shù)專用ALD設(shè)備正式進入產(chǎn)業(yè)化驗證階段。
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