《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》30日訊，SK海力士計(jì)劃在第6代（1c工藝 約10nm）DRAM的生產(chǎn)中使用Inpria下一代金屬氧化物光刻膠（MOR），這是MOR首次應(yīng)用于DRAM量產(chǎn)工藝。消息人士稱，SK海力士量產(chǎn)的1c DRAM上有五個(gè)極紫外 (EUV) 層，其中一層將使用MOR繪制。他還補(bǔ)充說(shuō)，不僅SK海力士，三星電子也將追求這類無(wú)機(jī)PR材料。 (TheElec)