《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》18日訊，日本三井化學(xué)日前宣布，將開始量產(chǎn)半導(dǎo)體最尖端光刻機(jī)的零部件產(chǎn)品（保護(hù)半導(dǎo)體電路原版的薄膜材料“Pellicle”的新一代產(chǎn)品），計(jì)劃在日本山口縣巖國大竹工廠內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)線，計(jì)劃年產(chǎn)能力為5000張，生產(chǎn)線預(yù)計(jì)于2025年12月完工。可支持荷蘭阿斯麥（ASML）將推出的下一代光刻機(jī)。