《科創(chuàng)板日報(bào)》6月28日訊（特約記者 陳蔣逸）半導(dǎo)體設(shè)備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石，也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)市場空間最廣闊，戰(zhàn)略價(jià)值最重要的一環(huán)。

據(jù)集微咨詢預(yù)測，中國大陸2022-2026年將新增25座12英寸晶圓廠，總規(guī)劃月產(chǎn)能將超過160萬片，半導(dǎo)體設(shè)備需求將維持高位。然而，研報(bào)顯示，我國半導(dǎo)體設(shè)備的整體國產(chǎn)化率僅12%。所需投資成本最大的半導(dǎo)體前道設(shè)備中，關(guān)鍵九類設(shè)備的國產(chǎn)化率皆小于10%，而高端工藝中的國產(chǎn)化率則幾乎為零。光刻、刻蝕、薄膜沉積等關(guān)鍵設(shè)備已成為國家重點(diǎn)扶持方向。

此外，美日荷限制關(guān)于先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的出口。美國不斷呼吁加強(qiáng)盟國間的協(xié)作，欲說服更多國家在半導(dǎo)體相關(guān)物項(xiàng)的對華銷售施加嚴(yán)格的出口管制，促使供應(yīng)鏈轉(zhuǎn)移并采取芯片斷供等手段限制中國。

國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)迎來轉(zhuǎn)型機(jī)遇，自研半導(dǎo)體設(shè)備不斷替代老舊設(shè)備是行業(yè)的發(fā)展趨勢。

值得注意的是，對于產(chǎn)業(yè)鏈條長、復(fù)雜性高的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，產(chǎn)業(yè)鏈上下游的高度協(xié)同，是設(shè)備等產(chǎn)業(yè)鏈重要節(jié)點(diǎn)持續(xù)發(fā)展的必經(jīng)之路。設(shè)備企業(yè)需進(jìn)一步強(qiáng)化集成能力，與晶圓制造企業(yè)、封裝測試企業(yè)進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)化協(xié)同創(chuàng)新，新一代半導(dǎo)體設(shè)備的推出尤其需要產(chǎn)業(yè)鏈上中下游企業(yè)緊密合作。

例如，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）就于 2022 年推出了供應(yīng)商協(xié)作計(jì)劃，與其供應(yīng)商之間建立了深度的合作關(guān)系，包括共享技術(shù)路線圖、共同研發(fā)、早期供應(yīng)商參與等機(jī)制，有助于提前識別和解決供應(yīng)鏈中的潛在問題。

同一年，長于刻蝕、涂膠/顯影等多項(xiàng)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)的東京電子（TEL）在地緣政治緊張局勢加劇的情況下，不僅積極開發(fā)自主技術(shù)，也通過多元化供應(yīng)商和增加庫存等措施，有效地降低了供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)。

美國半導(dǎo)體設(shè)備巨頭科磊（KLA）則積極地投資自動(dòng)化和數(shù)字化，以提高供應(yīng)鏈的效率和透明度。還采用分散式的供應(yīng)鏈模式，在多個(gè)國家設(shè)有生產(chǎn)基地，以降低對單一地區(qū)的依賴。

由此可見，為提高供應(yīng)鏈韌性與靈活性，加快數(shù)字化、強(qiáng)化協(xié)同性、穩(wěn)健的產(chǎn)品和庫存戰(zhàn)略，以及可持續(xù)性，是企業(yè)在進(jìn)行半導(dǎo)體供應(yīng)鏈布局和調(diào)整時(shí)需要重點(diǎn)關(guān)注的方面。

中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的探索實(shí)踐

為進(jìn)一步了解國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的供應(yīng)鏈安全與韌性管理情況，《科創(chuàng)板日報(bào)》研究員從科創(chuàng)板相關(guān)上市公司中，選取中微公司與盛美上海進(jìn)行案例研究，從公司官網(wǎng)、公開發(fā)布的ESG報(bào)告等，看看其實(shí)際的操作狀況。

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”）成立于2004年，主要從事半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，向下游集成電路、LED外延片、先進(jìn)封裝、MEMS等半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造公司銷售刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備，提供配件及服務(wù)。

在企業(yè)的供應(yīng)鏈安全與韌性方面，中微公司從加快數(shù)字化與強(qiáng)化協(xié)同性方向做出了一些積極嘗試。2023 年，中微公司運(yùn)用中微匯鏈自主研發(fā)的We-linkin系統(tǒng)，與12家關(guān)鍵供應(yīng)商實(shí)現(xiàn)了某些關(guān)鍵過程及關(guān)鍵數(shù)據(jù)的線上SPC監(jiān)控。

公司也通過自主創(chuàng)建的供應(yīng)商評分小程序（Scorecard App），從供應(yīng)商的質(zhì)量、商務(wù)、交貨三個(gè)方面，每季度對供應(yīng)商進(jìn)行百分制的打分評估，綜合評估供應(yīng)商的供貨表現(xiàn)。并選定一定數(shù)量的關(guān)鍵供應(yīng)商進(jìn)行年度審核，通過制定《供應(yīng)商年度審核表》（Supplier Re-evaluation Checklist），從主要關(guān)鍵零件的生產(chǎn)流程、質(zhì)量問題的處理、質(zhì)量業(yè)績、信息安全等四個(gè)方面，對供應(yīng)商進(jìn)行年度綜合評價(jià)。2023 年共對 15 家關(guān)鍵供應(yīng)商進(jìn)行了年度審核。

盛美上海同樣通過加快數(shù)字化來加強(qiáng)供應(yīng)鏈安全與韌性管理。盛美上海，全稱盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司，成立于2005年，主要從事半導(dǎo)體清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍設(shè)備、立式爐管系列設(shè)備、涂膠顯影Track設(shè)備等的開發(fā)、制造和銷售。

公司同專業(yè)機(jī)構(gòu)合作，搭建了盛美上海供應(yīng)商關(guān)系管理（Supplier Relationship Management,SEM）系統(tǒng)，并制作了《SRM 系統(tǒng)培訓(xùn)文檔（供應(yīng)商端）》，用以識別和評估公司整條供應(yīng)鏈中日常和異常的風(fēng)險(xiǎn)和漏洞。

總體而言，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商在精進(jìn)技術(shù)和產(chǎn)品能力的同時(shí)，對加強(qiáng)供應(yīng)鏈安全與韌性管理也做出了初步的探索和努力。中國大陸作為全球最大半導(dǎo)體消費(fèi)市場，目前國產(chǎn)化進(jìn)入加速階段，國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備更是在全球市場中展現(xiàn)出了極大的發(fā)展?jié)摿?。為?yīng)對全球化挑戰(zhàn)，未來國內(nèi)半導(dǎo)體廠商將面臨更高的供應(yīng)鏈安全與韌性要求，應(yīng)引起更大的重視。

【關(guān)于景賦】

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