《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》7日訊，荷蘭國家應(yīng)用科學(xué)研究院Stodolna等提出了一種能夠產(chǎn)生氫等離子體的實(shí)驗(yàn)裝置，以便進(jìn)一步研究改進(jìn)EUV光刻。之前的等離子體發(fā)生器非常復(fù)雜，需要大量資源，但該團(tuán)隊(duì)的裝置非常簡(jiǎn)單，使用機(jī)的是市場(chǎng)上可買到的技術(shù)。他們的裝置主要依靠高壓、大電流電子束槍，該電子束槍可以產(chǎn)生短電子脈沖，通過電子撞擊電離產(chǎn)生等離子體。在測(cè)試中，它能夠再現(xiàn)EUV生成等離子體的關(guān)鍵參數(shù)。