《科創(chuàng)板日報》21日訊，東方晶源宣布其自主研發(fā)的新一代電子光學(xué)系統(tǒng)（EOS）取得突破性成果，成功搭載到旗下電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備（DR-SEM）、關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（CD-SEM）、電子束缺陷檢測設(shè)備（EBI），率先實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)EOS在高端量測檢測領(lǐng)域的應(yīng)用。據(jù)介紹，EOS是電子束量測檢測設(shè)備最為核心的模塊，電子束量測檢測設(shè)備深度參與芯片光刻環(huán)節(jié)、對制程節(jié)點(diǎn)敏感并且對最終產(chǎn)線良率起到重要作用。