財聯(lián)社9月18日電，張江高科、同飛股份、海立股份競價漲停，富樂德、藍英裝備漲超10%，東方嘉盛、國林科技、京華激光、凱美特氣。波長光電等漲超5%。消息面上，工信部印發(fā)《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》。其中在電子專用裝備目錄下，集成電路生產(chǎn)裝備包括氟化氬GKJ，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。