《科創(chuàng)板日報(bào)》10月15日訊（編輯 鄭遠(yuǎn)方 記者 郭輝 吳旭光）光刻膠產(chǎn)業(yè)化再度傳出利好。

據(jù)東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)官網(wǎng)今日（10月15日）消息，近日武漢太紫微光電科技有限公司（下稱“太紫微公司”）推出的T150 A-光刻膠產(chǎn)品，已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)。

該產(chǎn)品“對標(biāo)國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于國外同系列產(chǎn)品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅(jiān)膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，通過驗(yàn)證發(fā)現(xiàn)T150 A中密集圖形經(jīng)過刻蝕，下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異”。

據(jù)悉，太紫微公司由華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立。該團(tuán)隊(duì)立足于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研發(fā)，在電子化學(xué)品領(lǐng)域深耕二十余載。武漢光電國家研究中心是科技部于2017年批準(zhǔn)建設(shè)的第一批，也是唯一的一批6個國家研究中心之一，其前身為2003年獲批的武漢光電國家實(shí)驗(yàn)室（籌）。

值得注意的是，天眼查信息顯示，太紫微公司成立于2024年5月31日，注冊資本200萬元，實(shí)控人為朱明強(qiáng)，最終受益股份77%。

除了朱明強(qiáng)本人外，太紫微公司的另外兩家股東，湖北高碳光電科技有限公司、武漢市馬斯洛普管理咨詢合伙企業(yè)，朱明強(qiáng)則分別持股100%和8%。

華中大學(xué)官網(wǎng)資料顯示，朱明強(qiáng)為華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心二級教授，光學(xué)與電子信息學(xué)院雙聘教授。主要研究領(lǐng)域?yàn)橛袡C(jī)及納米光電子學(xué)，研究方向包括集中于光刻制造、有機(jī)納米光電子學(xué)和超分辨率成像。

▌太紫微公司的KrF光刻膠產(chǎn)品，是什么水平？

一位光刻膠廠商人士向《科創(chuàng)板日報(bào)》記者表示，國產(chǎn)對標(biāo)國外廠商UV1610產(chǎn)品的光刻膠量產(chǎn)確實(shí)是個好消息。

不過，在KrF系列光刻膠產(chǎn)品中，T150 A對標(biāo)的UV1610產(chǎn)品算是“很常用的膠”，門檻不算高，但由于常用所以需求量會比較大。UV1610產(chǎn)品北京科華、徐州博康等國內(nèi)廠商都有能力生產(chǎn)。

從市場競爭情況來看，“UV1610這一款產(chǎn)品，實(shí)際留給其他廠商的市場空間并不多?！睋?jù)上述人士稱，目前北京科華直接代理了UV1610的原廠，主要為原廠提供代工，其他廠商“玩不了”。而徐州博康主打配方和生產(chǎn)“全國產(chǎn)”，有能力做UV1610，不過目前重心更多放在BARC（底部抗反射涂層）產(chǎn)品上。

其進(jìn)一步指出，太紫微光稱其產(chǎn)品已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，并實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)，但最終成效還是要看市場與客戶的反饋。據(jù)介紹，光刻膠產(chǎn)品在客戶端驗(yàn)證周期通常需要2年。

▌國產(chǎn)光刻膠走到了哪一步？

目前，我國半導(dǎo)體光刻膠國產(chǎn)化率仍處于較低水平。數(shù)據(jù)顯示，其中KrF、ArF光刻膠對外依賴最為嚴(yán)重，國產(chǎn)化率均僅在1%水平。

西部證券指出，我國半導(dǎo)體光刻膠市場超90%主要依賴進(jìn)口，本土廠商雖起步較晚，但目前處于國產(chǎn)化加速期。彤程新材、華懋科技、晶瑞電材、上海新陽等國內(nèi)公司均有G/I線、KrF、ArF膠布局，開發(fā)重點(diǎn)為普適性光刻膠和技術(shù)難度較低的成熟制程光刻膠，使產(chǎn)品導(dǎo)入后能大范圍應(yīng)用，在產(chǎn)品開發(fā)和驗(yàn)證上持續(xù)與下游晶圓廠進(jìn)行積極協(xié)作。

據(jù)《科創(chuàng)板日報(bào)》不完全統(tǒng)計(jì)，國內(nèi)已有多家公司有KrF光刻膠產(chǎn)品布局：

上海新陽稱，KrF光刻膠已有銷售，銷量逐步增加，合肥工廠目前在試生產(chǎn)階段；晶瑞電材多款KrF光刻膠已量產(chǎn)并供應(yīng)多家半導(dǎo)體客戶。

另外，鼎龍股份稱已開發(fā)出7款KrF光刻膠產(chǎn)品，包括1款能達(dá)到KrF極限分辨率120nm L/S 和130nm Hole的光刻膠；八億時空上海半導(dǎo)體項(xiàng)目已成功實(shí)現(xiàn)KrF光刻膠用PHS樹脂百公斤級別的量產(chǎn)；飛凱材料光致抗蝕劑產(chǎn)品包括應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的i-line及KrF光刻配套Barc材料。

“從根本上來說，國產(chǎn)光刻膠的上游原材料還是要依靠進(jìn)口，需要突破的是配方，目前國產(chǎn)的光刻膠原材料配方穩(wěn)定性等較國外有差距?！边€有光刻膠從業(yè)者向《科創(chuàng)板日報(bào)》記者表示，“除了原材料配方之外的技術(shù)領(lǐng)域的突破，難度并不算大。”

有新材料領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)基金投資人士分析認(rèn)為，“從細(xì)分維度來看，原材料、配方這兩大因素較為關(guān)鍵。像降本、突破性能指標(biāo)，匹配下游客戶等需要依靠這兩部分實(shí)現(xiàn)突破。在此基礎(chǔ)上，再是生產(chǎn)工藝、設(shè)備等方面突破，這些會對降本等產(chǎn)生直接影響?！?/p>

另有新材料領(lǐng)域投資人士持有相似觀點(diǎn)并表示，國內(nèi)現(xiàn)在主要研究的是光刻膠原材料配方。?“相較于技術(shù)突破，更值得關(guān)注的是這家公司（太紫微公司）使用的主料、輔料都是哪里采購的。目前，國內(nèi)企業(yè)在光刻膠原材料方面存在一定的進(jìn)口依賴，國內(nèi)相關(guān)光刻膠原材料基本都從日本進(jìn)口。不排除釋放這種消息（小K注：指太紫微公司光刻膠產(chǎn)品通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證），是為企業(yè)造勢的可能?！?/p>

關(guān)于太紫微公司T150 A產(chǎn)品的客戶端驗(yàn)證進(jìn)展，以及后續(xù)產(chǎn)品系列的研發(fā)計(jì)劃，《科創(chuàng)板日報(bào)》記者嘗試通過電子郵件與朱明強(qiáng)取得聯(lián)系，但截至發(fā)稿未獲回復(fù)。