2024年11月15日 14:06:34
日本首臺(tái)ASML EUV光刻機(jī)下月中旬運(yùn)抵 用于Rapidus晶圓廠試產(chǎn)
《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》15日訊,日本先進(jìn)半導(dǎo)體代工企業(yè)Rapidus購(gòu)入的第一臺(tái)ASML EUV光刻機(jī)將于2024年12月中旬抵達(dá)北海道新千歲機(jī)場(chǎng),這也將成為日本全國(guó)首臺(tái)EUV光刻設(shè)備。根據(jù)Rapidus高管以往表態(tài),該光刻機(jī)是較早期的0.33 NA型號(hào),而非目前全球總量不足10臺(tái)的0.55 NA(High NA)款。 (日本經(jīng)濟(jì)新聞)
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