《科創(chuàng)板日報》25日訊，英特爾周一表示，去年率業(yè)界之先接收的兩臺ASML高數(shù)值孔徑極紫外光EUV已投入生產(chǎn)。英特爾資深總工程師卡森表示，ASML這兩臺尖端機器已生產(chǎn)了3萬片晶圓。