2023年09月21日 18:07:01
有研集團集成電路用高純?yōu)R射靶材項目正式投產
《科創(chuàng)板日報》21日訊,有研集團日前宣布,其所屬企業(yè)有研億金新材料有限公司“集成電路用高純?yōu)R射靶材項目”在山東德州正式投產。據悉,項目達產后將實現先進制程所需高端靶材規(guī)?;慨a,公司此前開發(fā)的12英寸系列靶材已成功用于國內先進制程邏輯芯片和存儲芯片。
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