《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》28日訊，格科微27日宣布，公司“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”推進(jìn)迅速。廠房和潔凈車間建設(shè)已經(jīng)基本完成，今年2月16日開始搬入安裝主設(shè)備。3月24日，ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)成功搬入，其也是整套生產(chǎn)線中的最關(guān)鍵設(shè)備。